高階X-RAY螢光光譜分析儀

應用範圍：電鍍厚度測量、元素定性分析、成份比例測量
美國生產大窗口70mm平方 LSDD檢測器
德國生產50瓦微聚焦W陽極X射線光管
多導毛細管FWHM 50um，實際光斑大約100um
相機倍率45x （數位放大225x)
具有自動雷射對焦和自動影像對焦
固定焦距0.1″
4個主濾波器none 、Al 0.1mm、Al 0.5mm 、Al 1.0mm
可編程自動XY檯面：台面尺寸380mm x 330mm/行程：150mm x 125mm（標準）
amRy710mm × 635mm / 15# : 254mm ×254mm (*)
内部尺寸：140mm、310mm 、335mm ，狹縫式10mm
外部尺寸：450mm、450mm、600mm（加大台面尺寸：450mm、720mm、755mm)

光譜分析儀 同時具備高性能和小尺寸的X射線光斑。這是通過多毛細管光學系統實現的，該系統將來自射線管出口窗口的X射線聚焦到60umFWHM的光斑尺寸，同時幾乎保留100%的X射線通量。結果是對於量測非常小的部件或薄塗層具有更高的靈敏度。多導毛細管光學器件與類似尺寸的淮直器系的比較，使用更短的量測時間亦可得到更佳的重複性。
光譜分析儀 專為ENIG•ENEPIG和Electroless Nicke1%P分析而設計 ，0系列非常適合PC板、引線框架、細線和更小光斑尺寸要求的晶圓的應用。標準配置包括60um多導毛細管光學器件、可編程
檬品台。該相機具有45倍的視頻放大率和5倍的數位變焦。